自由曲面の光学部品を高速に、 かつ高精度に測定する自動化システム
新フォーム タリサーフ
® PGI フリーフォームは精密フリーフォーム光学レンズ測定専用の多目的、高分解能システムです。
次の形状の光学部品の3Dラスタースキャン測定または径方向測定と解析が可能です。
•球面 •非球面 •回析面 •フリーフォーム
フリーフォーム形状の定義には下記の方式に対応可能です。
•トーリック • 双円錐(バイコニック) • アナモルフィック非球面 • 楕円面
• NURBS（非均一有理B スプライン） • ゼルニケ • ポイントクラウド（点群） • アシンドリカル
測定機基本性能
Z方向測定レンジ: 最大 28 mm
分解能: 0.8 nm
測定可能な最大傾斜: スロープ最大 50 度
3D形状誤差: 150-250 nm
独自の校正メカニズム
触針式の形状測定機では、傾斜が大きくなったり、自由曲面形状のように複数の方向に傾斜がある場合には、触針にかかる力が分散するため精度が低下しやすくなります。
そのためPGI フリーフォームでは、基準球の全体を測定し、各角度における基準値との乖離を学習して補正する独自の3D校正アルゴリズムを搭載しています。
この独自アルゴリズムにより、PGIフリーフォームでは形状誤差200nm以下という高い精度を実現しています。
3D校正法を用いた実際の測定事例については、こちらをご覧ください
また装置自体に関する詳しい内容は下記カタログリンクからカタログを御覧ください。