表面性状
UKASラボでは、世界中で使用されている表面構造に関するパラメータをすべて網羅しています。
真円度標準機は、Raの不確かさ 2% + 0.004 mm以下でキャリブレーションされ、これは国立物理研究所(National Physical Laboratory:NPL)以外の英国認定UKAS研究所で到達可能な最小値です。
表面粗さ、形状測定機フォームタリサーフのキャリブレーションにタングステンカーバイドの半球が、使用されます。
半球は、測定機校正またはその精度確認の為の基準として使用されます。
真直度
タリロンドのコラム真直度は、精度円筒マスタを使用して評価します。マスタ自体の不確かさを分離する高度な技術「反転法」を使用し、真直度を正確に求める事ができます。
直径および長さ
当研究所は現在、球、プラグ、リング、バーのキャリブレーションに対して英国から認定され、不確かさは0.5µm以下で測定可能です。
ポリゴン、角柱、角度計
角度測定に使用する基本的な方法は、高精度インデックステーブルを使用して円を正確に分割するか、または正確なサインバー(角度発生器)やロータリーバーをによって既知の角度を生成するかです。
高精度インデックステーブルは、多角形、角柱、角度計のキャリブレーション用オートコリメータと連動して使用されます。測定されたエラーはUKAS証明書に記載され、使用時にこのエラーを考慮することにより、 高精度の測定を実現することができます。
オートコリメータ
テーラーホブソンとNPLによって共同設計された微細角度発生器が、干渉キャリブレーションゲージブロックと連動して、オートコリメータのキャリブレーションに使用されます。漸増的エラーおよび周期的エラーを把握し、これらのエラー情報により、装置をさらに正確に使用することができます。
傾斜計およびレベル
ブロックレベル、傾斜計、電子レベルが、最新のサインレバー技術を使用してキャリブレーションされます。タリベル電子レベルはテイラーホブソンの小角度発生器を使用してキャリブレーションされ、装置を使用するときに、既知のエラーを補償する機能の利点を利用することができます。
テレスコープおよびコリメータ
微細アライメントテレスコープの照準線および変位誤差は、光学くさびおよび固定/可変焦点コリメータを使用して、評価します。偏差はUKAS証明書に記録され、より正確な測定の手段を提供します。マイクロメータおよび焦点の精度も、トレース可能にキャリブレーションされたスケールおよびアーチファクトを使用して、検証されます。
平面度
光学的平面度および直定規は、Zygo GPF位相シフト干渉計を使用して、市場で得られる最小程度の不確定要素まで、キャリブレーションされます。表面テーブルの平面度の現場でのキャリブレーションは、タリベル電子レベルを分析ソフトウェアと連動して使用して実行し、テーブル表面の3次元プロットを作成することができます。
インデックステーブルおよびロータリーテーブル
ロータリー装置のキャリブレーションには種々の技術が使用され、不確かさは僅か0.3秒以下です。
最高到達可能精度(不確かさ)
半球マスタ |
± 0.005 um |
表面粗さマスタ |
2% + 0.004 um |
段差マスタ |
0.004 um |
真直度マスタ |
0.10 um |
直径および長さ |
0.5 um |
ポリゴンプリズム、角度ゲージ |
0.5 seconds of arc |
オートコリメータ |
0.5 seconds of arc |
クリノメータ |
1.0 seconds of arc |
レベルブロック |
2.0 seconds of arc |
電気レベル |
1.0 seconds of arc |
芯出し望遠鏡 |
2.0 seconds (Infinity) and 10.0m (Line of Sight) |
コリメータ |
1.0 seconds of arc |
オプチカルフラット |
0.05 um |
サーフェーステーブル |
1.5 + (0.8 X Diagonal in meters) |
ロータリーテーブル |
1.0 seconds of arc |
インデックステーブル |
0.3 seconds of arc |
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